二氧化硅拋光液作為最終精拋光液，配合阻尼拋光布得到了廣泛的應用，是比較理想的氧化物拋光液。結晶二氧化硅拋光液在使用過程中由于結晶溫度較低且容易蒸發，可能在拋光表面形成難以去除的晶體。在使用結晶二氧化硅拋光液后，建議立即清洗拋光布，以防結晶。非結晶二氧化硅拋光液則不用擔心二氧化硅的結晶現象，因此具有一定的優勢，尤其在振動拋光的應用中。

優勢1. 不發生結晶，拋光后不需要立即清潔。

優勢2. 自動滴液系統的好選擇，不容易發生堵塞。

優勢3. 更加適合需要長時間拋光的工件，比如鈦合金等。

優勢4. 適用于需要振動拋光的工件。